高纯硅的制备方法

发布时间：2025-12-09 作者：骏升个人知识网

高纯硅的制备方法主要包括以下步骤：

使用硅石（SiO2）和焦炭在电炉中加热至1600~1800℃制得粗硅，粗硅纯度为95%~99%。

粗硅经过酸洗，如盐酸、王水、氢氟酸混合酸处理，以提高纯度至99.9%。

粗硅与干燥的氯气在450~500℃条件下反应生成四氯化硅（SiCl4）。

四氯化硅通过精馏等方法提纯。

提纯后的SiCl4与过量氢气在1100~1200℃条件下反应，生成高纯度的硅，并生成HCl。

高纯多晶硅通过直拉法（CZ法）或区熔法（FZ法）等方法进一步处理成单晶硅。

包括切片、整型、化学机械抛光（CMP）和清洗等步骤，以获得所需的硅片表面质量和纯度。

以上步骤涉及到从原料选择到最终产品精加工的全过程，确保了硅的纯度满足半导体等高精度应用的要求

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